Loại: Giáo trình-Bài giảng-Giáo án
Tác giả:
Lê Tuấn
Chuyên ngành:
/ Kỹ thuật - Công nghệ / Điện-Điện tử-Viễn thông
Nguồn phát hành:
Đại học Bách Khoa Hà Nội
Sơ lược:
Quang khắc là công đoạn độc lập, có vai trò quan trọng bậc nhất trong công nghệ sản xuất các mạch vi điện tử, nhằm truyền hình ảnh tô pô lên phiến bán dẫn, xác định các vị trí thao tác tiếp theo cho hầu hết các bước công nghệ.
Quang khắc :
http://www.box.net/shared/vaz6rju88o
Công nghệ linh kiện bán dẫn và vi điện tử bán dẫn :
http://www.box.net/shared/r9psq9jeos