Loại: Giáo trình-Bài giảng-Giáo án
Tác giả: TS Lê Tuấn
Chuyên ngành:/ Kỹ thuật - Công nghệ / Điện-Điện tử-Viễn thông
Nguồn phát hành: Đại học Bách khoa Hà Nội
Sơ lược:
Cấy ion là một phương pháp được ứng dụng trong vi điện tử. Một trong những ưu điểm của phương pháp này là điều khiển chính xác liều lượng và phân bố theo chiều sâu của tạpchất, có một phổ rộng để lựa chọn các vật liệu làm mặt nạ như ô xyt, chất cảm quang, poly-Si, Si3H4, kim loại, v.v..
Link:
http://www.ziddu.com/download.php?uid=bbKhlp2naa2aluKnZqqhkZSqY6ydmpqu6