Loại: Giáo trình-Bài giảng-Giáo án
Tác giả:Lê Tuấn
Chuyên ngành:/ Kỹ thuật - Công nghệ / Điện-Điện tử-Viễn thông / Điện tử
Nguồn phát hành:Đại học Bách khoa Hà Nội
Sơ lược:
Giới thiệu công nghệ ô-xy hóa nhiệt được sử dụng nhiều trong lĩnh vực vi điện tử:
- Ô xy hóa nhiệt (đối với Silic)
- Giá trị các hệ số (B/A) vàB cho các trường hợp ô-xy hóa nhiệt khô và ẩm đối với Si
- Các bài tập ví dụ
Link:
http://www.box.net/shared/kg0nlyl8gk